我们的Scrubber产品系列概览
DAS Environmental Experts的紧凑型水洗Scrubber，具有处理效率高、投资成本低的核心优势。通过接入工艺设备接口，系统运行成本可实现优化管控。
AQUABATE—— 采用水洗Scurbber的废气处理系统
DAS Environmental Experts依托水洗Scrubber核心技术，研发出 AQUABATE 系列产品。该产品线可在废气产生端，以高度灵活且定制化的方式脱除工艺废气中的水溶性污染物。
此款洗涤塔不仅运行高效、占地面积小，还能有效降低运行成本。
SALIX—— 应用于单晶圆水洗式清洗台(Wet Bench)废气处理
SALIX 产品成功落地了单晶圆水洗工作台有害气体末端水洗洗涤处理方案，该方案已通过数百次现场验证。这套系统不仅能大幅提升工艺变更的灵活性，相较于传统方案，还能有效节省占地面积与洁净室用气量。
