半导体行业的催化式氮氧化物（NOx）减排
在燃烧 / 水洗式及其他会产生氮氧化物（NOₓ）的处理系统之后，进行二次废气处理，以最大限度地减少氮氧化物排放。
符合最高环保标准的废气二次处理
现代的燃烧 / 水洗式系统可可靠去除多种危险制程气体。与此同时，该过程会产生氮氧化物（NOₓ），而相关环境法规对其管控正日趋严格。催化后处理为针对性降低 NOₓ排放量提供了有效的解决方案。
TSUGA——实际应用
TSUGA 结合 选择性催化还原（SCR） 该系统具备高效的颗粒物过滤功能。作为下游处理方案，该系统可在不影响上游废气处理系统运行的情况下，可靠地减少氮氧化物和颗粒物的排放。
