燃烧式系统 —— 高效、安全且低排放的废气处理方案
适用于 MOCVD 及 EUV 制程的「使用端」系统 —— 无废水排放、燃料气消耗低且运作可靠性高。
概览
对于氢气和氨气含量高、有机金属化合物和硅烷含量较低的制程废气，燃烧式系统提供了一种特别可靠且永续性的使用端解决方案。因此，它非常适合处理 MOCVD、LED、µLED、GaN 和 EUV 制程所产生的废气。
LARCH
得益于稳健的「燃烧式」原理，LARCH 产品系列运作极为稳定，维护需求极低，且运营成本极为低廉。由于其运作过程中不使用新鲜水，因此不会产生废水，这点与水洗式 Scrubber 截然不同。同时，通过污染物的热分解或分级燃烧，可显著减少氮氧化物（NOₓ）的生成，使该制程成为同类技术中最具环保效益且最高效的技术之一。
