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    全球半导体产业废水处理

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    废气处理,守护洁净空气

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    • 废气净化系统的规划和设计
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    • 产品概览
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      • 高科技工业设备,白色金属外壳,紫色线条,右侧有显示屏和控制按钮,设备标有“ESCAPE DUO”字样。
        ESCAPEESCAPE DUO—— DAS Environmental Experts紧凑型使用端 (POU)废气处理系统,可高效净化半导体及光伏行业中的各类工艺气体。
      • 废气处理
        STYRAXSTYRAX为蚀刻(ETCH)和化学气相沉积(CVD)工艺提供废气处理方案。处理方式由您选择:燃烧 - 水洗或等离子 - 水洗。
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        TILIATILIA— 内置冗余设计的双反应器系统
      • UPTIMUM
        UPTIMUMUPTIMUM 系统经优化设计,可适配来自不同行业领域化学气相沉积(CVD)工艺的最多 6 路独立进气,并支持多种燃料气体和洗涤液的运行配置。
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        AQUABATEAQUABATE 是一款专为外延工艺及 CVD 工艺设计的使用端Scrubber。 深入了解 AQUABATE 产品详情,我们将为您提供专业的专家咨询服务!
      • product
        SALIXSALIX— 单晶圆清洗系统的可靠处理方案
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        LARCHLARCH 为我司专属产品系列,专为金属有机化合物气相沉积(MOCVD)与极紫外光刻(EUV)工艺的终端应用场景研发设计。
      • product
        TSUGATSUGA 是一款适用于半导体行业的氮氧化物及颗粒物二次废气处理独立式解决方案。
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        EDCEDC 静电除尘设备支持最高 270 立方米 / 小时风量,专为含微粒或气溶胶废气的源头处理设计
      • 图片展示了一台流线型的白色工业设备,其表面带有紫色条纹并标有“DALEA”字样,配备数字控制面板、多个按钮以及顶部的两根通风管,背景为素色。
        DALEADALEA 旋转式细微粉尘分离器,使用端处理含微粒 / 气溶胶工艺废气,最大处理风量 390m³/h
      • 小型技术装置的视图,其正面设有开口。
        RDC针对高浓度细微粉尘工况的生产场所,RDC 系列设备可提供定制化解决方案。
  • 服务与维护

    我们的服务组合丰富全面,涵盖从专业设备开机调试到技术支持的全流程服务。DAS 服务团队可应客户需求提供全天候 24 小时全球响应,也能派驻专属团队常驻现场提供持续支持。

    服务与维护服务与维护
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    • 零配件和耗材管理
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DAS Environmental Experts 研发面向空气与水领域的可持续环保技术。了解更多关于我们的企业概况、核心价值观、发展战略与责任承诺。

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