迈向零排放 Sub-Fab 之路
探索半导体行业如何通过高效减排系统、可再生能源、先进的再利用与回收技术以及多级排放控制,迈向真正零排放的子工厂——从而实现可持续的碳中和运营。
碳中和承诺
晶圆厂(Sub-Fab)需要做什么才能实现碳中和?
这是正确的问题吗?
晶圆厂需要做什么才能实现零排放?
Guy Davies 博士从 Sub-Fab 的角度阐述了 戴思DAS 对 ESG 的看法


需要做些什么?
实现当下的零排放 Sub-Fab:
高效减排系统
可再生能源
需要为所有排放物增加额外的净化环节
实现未来的零排放 Sub-Fab:
替代燃料
以再利用与回收为重点的替代技术
集成式二级废气减排系统
在 Sub-Fab 中以开放接口实现高效数字化策略
实现设备互联互通
Sub-Fab 在行业中的领导作用需要被重视
行业中有哪些成熟的最佳实践?在供应链中又存在哪些妥协与权衡?
