迈向零排放 Sub-Fab 之路

探索半导体行业如何通过高效减排系统、可再生能源、先进的再利用与回收技术以及多级排放控制,迈向真正零排放的子工厂——从而实现可持续的碳中和运营。

Zero-emission sub-fab

碳中和承诺

晶圆厂(Sub-Fab)需要做什么才能实现碳中和?

这是正确的问题吗?

晶圆厂需要做什么才能实现零排放?

Guy Davies 博士从 Sub-Fab 的角度阐述了 戴思DAS 对 ESG 的看法

Dr. Guy Davies present the DAS view on ESG from a Sub-Fab perspective.
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需要做些什么?

实现当下的零排放 Sub-Fab:

  • 高效减排系统

  • 可再生能源

  • 需要为所有排放物增加额外的净化环节

实现未来的零排放 Sub-Fab:

  • 替代燃料

  • 以再利用与回收为重点的替代技术

  • 集成式二级废气减排系统

在 Sub-Fab 中以开放接口实现高效数字化策略

  • 实现设备互联互通

Sub-Fab 在行业中的领导作用需要被重视

  • 行业中有哪些成熟的最佳实践?在供应链中又存在哪些妥协与权衡?

咨询与技术选择

携手打造零排放晶圆厂