使用端（Point-of-Use）颗粒过滤和水回收

微芯片的制造涉及众多工艺步骤，其中部分步骤会使用需要在使用端进行处理的有害气体和化学品。每一台工艺设备后方都会连接废气管线，用于将废气从主设备输送至使用端的废气处理系统。这些系统通常与真空泵及其他设施一同安装在 subfab 区域。常见的废气处理技术包括将废气进行燃烧与清洗，或依据有害气体的类型和浓度，仅采用清洗方式。该处理过程中产生的废水通常会被输送至晶圆厂的中央废水处理厂。

当前市场已明确释放信号：水循环利用技术需求正持续增长。DAS环境专家团队针对此需求，由废气与废水处理部门专家联合研发出智能解决方案。新型终端用水处理系统新增过滤步骤，可从废气处理系统的废水中过滤出金属氧化物等固体颗粒，并实现废水回流至废气净化系统。原始废水回收率可达90%。所采用的膜技术维护需求极低，投资回报周期短，并能助力半导体制造商实现ESG发展路线图。