工业中的细颗粒物
细颗粒物在工业领域不仅在职业安全方面具有重要意义：在各类工业工艺过程中，产生的废气必须得到可靠处理，其中所含的细颗粒物也必须被安全分离。尤其是高科技行业，更加依赖 DAS Environmental Expert GmbH 提供的解决方案。
工业是细颗粒物排放量最大的来源之一
从电力生产、物流运输，到生产工艺以及废物处理，工业企业在空气污染中占据了相当大的比例。化工和矿物材料行业中使用的溶剂，以及高科技行业的生产工艺，都是工业领域细颗粒物的重要来源。
高科技产业的细颗粒物来源
在半导体行业中，例如在后端工序中，使用激光切割晶圆是重要的细颗粒物产生源。通过热处理工艺（如燃烧器）处理工艺废气时，也可能产生颗粒物，尤其是在涂层工艺之后，例如外延（Epitaxie）工艺，或在大面积涂层中，如太阳能电池或平板显示器的生产过程中。如果不采取额外措施，这些颗粒物会进入排气系统，既可能造成管道堵塞（“Clogging”），也可能导致整个生产设备停机。当细颗粒物释放到环境中时，还会对环境和健康造成潜在危害。在晶圆厂内部，则严格控制任何颗粒物进入关键区域，如洁净室，因为细颗粒物不仅会损害设备，也会对晶圆等产品造成损坏。
细颗粒物分离处理方法
细颗粒物对人员和设备均存在危害。尤其是在工业工艺过程中，产生的废气必须得到可靠和安全的处理，同时其中的细颗粒物需要被有效分离。为此，常用的处理方法包括：
旋风分离器
静电除尘器
湿式除尘器
过滤式除尘器
在分离细颗粒物时，尤其是 PM2.5 及超细颗粒物，通常采用静电除尘器或过滤式除尘器。而旋风分离器则更适合分离较大颗粒物。
静电除尘器
静电过滤器利用电场从废气流中去除颗粒物、气溶胶及冷凝物。无论是细颗粒物、超细颗粒物，还是可冷凝的有机化合物，都能被可靠且高效地从废气中去除。
湿式除尘器
废气洗涤器通过将废气流与洗涤液接触，使其中的颗粒物被吸附或部分溶解。形成的混合物随后从废气中分离并沉降，同时对洗涤液进行循环处理。
过滤式除尘器
在过滤式除尘器中，废气通过滤材（通常由外向内流动）。颗粒物会附着在滤材表面，形成所谓的 滤饼 —— 一层需要定期清除的尘层。
针对不同类型细颗粒物污染的解决方案
请查阅后续页面了解哪些技术方案在实践中可应用。
