适用于 TFT 行业的可靠废气处理

在 TFT/LCD 行业的生产过程中积累的废气，包含了工艺气体硅烷（SiH4）、氨气（NH3）和一氧化二氮（N2O）的残留物。这其中的一些物质具有高腐蚀性、毒性或高易燃性，需要在使用点进行处理。戴思可以针对特定的废气处理问题为客户提供可靠的解决方案。

采用戴思的废气处理系统实现的安全 TFT 生产

制造 TFT/LCD 显示器需要进行废气处理。例如，在玻璃基板上生产大型薄膜晶体管（TFT）的工艺过程采用化学气相沉积（CVD）将薄膜分离到材料上。该过程需要定期清洗工艺室，并且通常会采用 NF 3 进行蚀刻。分离薄膜的蚀刻在通常情况下采用 CF 4 、 SF 6 和氯化气体，这将释放可以由燃烧/水洗系统或静电过滤器处理的大量废气混合物。

由戴思 DAS Environmental Expert 设计的系统可以在工艺过程废气的起始点（使用点）对它们进行直接清洗，并可靠地减少危险物质。戴思专门为 TFT/LCD 行业开发了解决方案，可以安全地进行大批量处理，使废气满足法律要求。

危险废气的安全处理

在 TFT/LCD 行业的生产过程中积累的废气，包含了工艺气体硅烷（SiH4）、氨气（NH3）和一氧化二氮（N2O）的残留物。这些废气对环境以及生产设施的安全造成了显著的风险。在工厂的中央废气系统中混合不同的废气，通常会形成具有高易燃性或高爆炸性的气态混合物，这将造成严重的安全危害，因此必须始终加以避免。侵蚀性气体也会促使泵、阀门和管道加快腐蚀，从而进一步损害设施的安全性。废气流中包含的小颗粒物可能会沉积在管道内，并阻塞管道，这将导致增加维护，甚至引起全面停产。

戴思废气治理技术以灵活的集成系统概念为基础。我们的最小型设备可以装进占地面积小于 1 平方米的机房内。戴思技术为全自动技术，采用传感器进行控制，并且可以满足最高的认证安全标准。